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      1.  

        對(duì)

        態(tài)


        個(gè)產(chǎn)品,

        對(duì)待每一

        做到極致認(rèn)真

        每一個(gè)零件
        細(xì)

        每一組數(shù)據(jù)

        • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
        • 潔凈烘箱,百級(jí)無塵烘箱
        • 氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>
        • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
        • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱,高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
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        無氧固化爐,高溫?zé)o氧固化爐的基本原理
        來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2023-07-13 | 1045 次瀏覽 | 分享到:

        無氧固化爐,高溫?zé)o氧固化爐的基本原理

        下面我們將分步驟來介紹固化爐的工作原理 :

        第一:高溫功能的實(shí)現(xiàn)為爐腔加熱, 固化爐的加熱系統(tǒng)通常由幾個(gè)加熱器和溫度控制器組成。首先,加熱器發(fā)出熱量將氣體熱量在烘箱內(nèi)循環(huán),使?fàn)t腔內(nèi)的溫度逐步升高。然后,由溫度控制器來控制加熱輸出量的大小,控制箱內(nèi)溫度的高低;

        第二:低氧濃度的實(shí)現(xiàn)為氣體置換,固化爐箱內(nèi)是一個(gè)完全密閉的空間,在進(jìn)氣口使用N2等惰性氣體充入箱內(nèi),氣體經(jīng)過箱內(nèi)循環(huán)后將空氣和混合氣體通過排氣口排出(真空無氧烘箱可先抽真空后再充入氮?dú)?,從而多次循環(huán)),達(dá)到降低箱內(nèi)氧氣濃度的目的。

        第三:無氧固化爐,高溫?zé)o氧固化爐結(jié)構(gòu): 

        箱體結(jié)構(gòu): 內(nèi)箱采用SUS304/316L不銹鋼制作,以全周氬弧焊無縫處理; 外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼或冷軋板靜電噴塑處理; 外箱保溫材質(zhì)用高級(jí)超細(xì)陶瓷纖維保溫,六面保溫?cái)酂?達(dá)到降低機(jī)臺(tái)表面溫度的目的。

        第四:無氧固化爐,高溫?zé)o氧固化爐運(yùn)行工藝

        a.預(yù)設(shè)固化工藝,階梯升溫方式

        b.recipe開始運(yùn)行,自動(dòng)充入氮?dú)?,廢氣排氣口排出)(真空固化爐抽真空后充氮?dú)猓?/span>

        c。達(dá)到預(yù)設(shè)氧濃度值10-100ppm

        d. 固化爐進(jìn)入升溫工藝(真空固化爐達(dá)到指定工藝壓力后開始升溫),該工藝段繼續(xù)充入氮?dú)?/span>

        e.升溫完成后,自動(dòng)打開輔助降溫裝置,開始降溫,該工藝段繼續(xù)充入氮?dú)?/span>

        f.降溫完成,自動(dòng)切斷氮?dú)猓澍Q器閃爍提示。

           無氧固化爐,高溫?zé)o氧固化爐適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。

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