PI光刻膠是一種高性能、高精度的光刻膠，被廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、MEMS等領(lǐng)域

PI無氧烘箱工藝的必要性：

  PI光刻膠的預(yù)烘是將其涂覆在襯底上后，在特定溫度下進行一段時間的烘千，使PI溶液中的溶劑揮發(fā)掉，PI形成一定的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)并增強其附著性。

PI無氧烘箱工藝要求（參考）：

1. 在低氧狀態(tài)下使用

2. 真空加熱，升溫至1xx℃

3. 再溫至1xx℃(約xh),保溫約 30min;

4. 繼續(xù)升溫至x00℃，視涂層厚度不同加熱10-x0min

5. 保溫 約60min；

6. 降溫至100℃以下
   

PI無氧烘箱性能：

溫度：室溫+50～400℃

氧濃度：≤10ppm 

真空度：1Torr

冷卻裝置：輔助降溫

控制方式：可程式運行