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      ,


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      無氧固化爐,高溫無氧固化爐的基本原理
      來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發(fā)布時間: 2023-07-13 | 1042 次瀏覽 | 分享到:

      無氧固化爐,高溫無氧固化爐的基本原理

      下面我們將分步驟來介紹固化爐的工作原理 :

      第一:高溫功能的實現(xiàn)為爐腔加熱, 固化爐的加熱系統(tǒng)通常由幾個加熱器和溫度控制器組成。首先,加熱器發(fā)出熱量將氣體熱量在烘箱內循環(huán),使爐腔內的溫度逐步升高。然后,由溫度控制器來控制加熱輸出量的大小,控制箱內溫度的高低;

      第二:低氧濃度的實現(xiàn)為氣體置換,固化爐箱內是一個完全密閉的空間,在進氣口使用N2等惰性氣體充入箱內,氣體經(jīng)過箱內循環(huán)后將空氣和混合氣體通過排氣口排出(真空無氧烘箱可先抽真空后再充入氮氣,從而多次循環(huán)),達到降低箱內氧氣濃度的目的。

      第三:無氧固化爐,高溫無氧固化爐結構: 

      箱體結構: 內箱采用SUS304/316L不銹鋼制作,以全周氬弧焊無縫處理; 外箱采用優(yōu)質不銹鋼或冷軋板靜電噴塑處理; 外箱保溫材質用高級超細陶瓷纖維保溫,六面保溫斷熱,達到降低機臺表面溫度的目的。

      第四:無氧固化爐,高溫無氧固化爐運行工藝

      a.預設固化工藝,階梯升溫方式

      b.recipe開始運行,自動充入氮氣,廢氣排氣口排出)(真空固化爐抽真空后充氮氣)

      c。達到預設氧濃度值10-100ppm

      d. 固化爐進入升溫工藝(真空固化爐達到指定工藝壓力后開始升溫),該工藝段繼續(xù)充入氮氣

      e.升溫完成后,自動打開輔助降溫裝置,開始降溫,該工藝段繼續(xù)充入氮氣

      f.降溫完成,自動切斷氮氣,蜂鳴器閃爍提示。

         無氧固化爐,高溫無氧固化爐適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。

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