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      做到極致認(rèn)真

      每一個(gè)零件
      細(xì)

      每一組數(shù)據(jù)

      • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
      • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
      • 氮?dú)夂嫦?,精密充氮烘?/div>
      • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
      • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱,高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
      • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
      • 智能型無塵無氧烘箱(PI烤箱)
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      無氧固化烘箱 無塵無氧烤箱配置功能該如何選?
      來源: | 作者:上海雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2025-11-05 | 211 次瀏覽 | 分享到:

         無塵和無氧是兩個(gè)獨(dú)立但又可能結(jié)合的G端需求,通常用于精密電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療新材、新能源、科研和高端材料處理等領(lǐng)域。

      選型過程需要系統(tǒng)性地考慮多個(gè)關(guān)鍵因素。以下指南將幫助您一步步明確需求并做出正確選擇。

      無氧固化烘箱 無塵無氧烤箱核心需求定義

      1. 無氧級別要求:

      · 氧含量控制目標(biāo)是多少? 例如:<1000ppm, <100ppm, <10ppm, 甚至<1ppm。目標(biāo)越低,設(shè)備和運(yùn)營成本越高。

      · 應(yīng)用是什么?

        · 防止氧化: 如燒結(jié)、退火、釬焊。通常需要<100ppm,關(guān)鍵材料可能需要<50ppm。

        · 惰性氣氛處理: 如固化、干燥,防止與氧氣反應(yīng)??赡?lt;1000ppm即可。

        · 對氧極度敏感的材料: 如鋰電池材料、某些化學(xué)粉末、納米材料。通常需要<20ppm甚至更高。

          氧分析儀: 是否標(biāo)配或可選配在線氧分析儀,用于實(shí)時(shí)監(jiān)測和閉環(huán)控制?

      2. 無塵級別要求:

      · 潔凈度等級: 參照ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)。常見的有ISO Class 100(百級)、ISO Class1000(千級)、ISO Class 1000(萬級)。您的工藝要求哪個(gè)等級?

      · 關(guān)鍵控制點(diǎn):

        · 顆粒物來源: 加熱元件(應(yīng)使用表面光滑的鎧裝加熱管,避免絲狀電阻絲)、腔體內(nèi)壁(光滑無縫、圓角過渡)、密封材料(不脫落)。

        · 保持方式: 是通過腔內(nèi)始終保持正壓(通入高純惰性氣體)來防止外部塵埃進(jìn)入,還是需要搭配高效/超高效過濾器(HEPA/ULPA)對腔內(nèi)空氣進(jìn)行循環(huán)過濾?

      3. 工藝溫度范圍:

      · 最高工作溫度: 常見范圍有200°C, 300°C, 400°C,500°C,以及更高的800°C, 1200°C, 甚至1600°C。溫度越高,加熱元件、隔熱材料和控制系統(tǒng)成本越高。

      · 常用工作溫度: 確保設(shè)備在常用溫度點(diǎn)能穩(wěn)定、均勻地工作。

      4. 工作空間尺寸:

      · 內(nèi)腔尺寸: 根據(jù)您最大工件的尺寸,并考慮工裝夾具(料架、載具)所需空間來確定。

      原則是:在滿足工藝的前提下,腔體越小越好,因?yàn)檫@能顯著減少換氣時(shí)間和氣體消耗,提高溫度均勻性。

      5. 負(fù)載情況:

      · 材質(zhì): 工件和料架的材質(zhì)(金屬、陶瓷、石英)及其在高溫下的放氣特性。

      · 重量與數(shù)量: 總負(fù)載重量,以及是否密集擺放,這會影響熱傳導(dǎo)和氣流循環(huán)。

      · 揮發(fā)性物質(zhì): 工藝過程中是否有溶劑、粘結(jié)劑等揮發(fā)?這會影響腔內(nèi)潔凈度和氧含量穩(wěn)定性,可能需要專門的排廢系統(tǒng)。

      6. 安全與輔助功能:

      · 安全聯(lián)鎖: 高溫時(shí)門無法打開的聯(lián)鎖保護(hù)。

      · 壓力安全: 過壓泄壓閥,防止腔內(nèi)壓力過高。

      · 氣體壓力/流量監(jiān)控: 監(jiān)測進(jìn)氣壓力。

      · 數(shù)據(jù)記錄: 全程記錄溫度、氧含量、時(shí)間等關(guān)鍵參數(shù),滿足品質(zhì)追溯要求。


      無氧固化烘箱 無塵無氧烤箱適用行業(yè)

         應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).



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