有降溫功能真空烘箱，快速降溫真空烤箱可快速降溫，提高生產(chǎn)效率；充氮氣降低氧濃度，防止產(chǎn)品在高溫狀態(tài)被氧化。用于鍵合預處理，晶圓，芯片，電容，電池，封裝，光刻膠固化，PI固化，無氧化烘烤等。
有降溫功能真空烘箱，快速降溫真空烤箱控制系統(tǒng)：

具備參數(shù)設定、工藝程序編寫功能，工藝過程可保存并輸出；

工藝結(jié)束提示音；

觸摸屏

PLC控制器

運行程式可保存不少于5個工藝菜單。

材質(zhì)

（1）內(nèi)部為304或316材質(zhì)；

（2）外部材質(zhì)：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑；

（3）硅橡膠密封；

（4）內(nèi)部采用圓角結(jié)構(gòu)。

（5）冷卻水管材質(zhì)：金屬水管和其他。 

內(nèi)部尺寸：長×寬×高=600mm×500mm×500mm

腔門：帶有觀察窗。

擱架：配有不銹鋼的托盤；

真空控制系統(tǒng)

（1）配備數(shù)字真空控制器，顯示腔內(nèi)相對壓強；

（2）配備干泵、真空檢測和顯示系統(tǒng)，真空壓力可控；

（3）真空泵：油泵或干泵

溫度控制系統(tǒng)

（1）可編程多段升溫程序；

（2）具備溫度校準功能。

安全保護系統(tǒng)

（1）接地保護裝置；

（2）超溫報警及保護裝置；

（3）加熱器短路保護裝置；

（4）壓力低壓報警；

配有三色指示燈及蜂鳴器提示機臺運行狀態(tài)。

有降溫功能真空烘箱，快速降溫真空烤箱技術(shù)指標：

真空

（1）工藝真空度：≤133pa；

（3）通過真空電磁閥可實現(xiàn)真空度的控制。

溫度

（1）溫度范圍：室溫至300℃；

（2）溫度調(diào)節(jié)精度：≤±0.5℃；

（3）溫度穩(wěn)定度：≤1℃；

（4）溫度波動度：≤1℃；

（5）降溫至室溫時間：＜60min；

（6）升溫至200℃時間：＜30min；

（7）可編程進行多段升溫。

潔凈度

可達class100(使用環(huán)境100級）