十級(jí)潔凈烤箱也稱作無(wú)塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二．十級(jí)潔凈烤箱，無(wú)塵烤箱特點(diǎn)

? 在特定環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 10；

? 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

? 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 10；

? 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。

三．十級(jí)潔凈烤箱，無(wú)塵烤箱技術(shù)參數(shù)

1.主要技術(shù)指標(biāo)

? 無(wú)塵等級(jí)：Class 10;     

? 溫度范圍：RT+10～200、300℃；

? 溫度均勻度：±1.5%℃;    

? 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）；        

? 溫控精度：±0.1℃;

? 進(jìn)風(fēng)口：壓縮氣體過(guò)濾，可把氣體過(guò)濾到CLASS 10，φ6mmN2進(jìn)氣;

? 排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管;     

? 電源：380v , 50Hz；

?保護(hù)裝置：超溫保護(hù)，漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流
    保護(hù)、 反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)。   

? 網(wǎng)板：2-5層，不銹鋼加工圓孔托盤(pán)，載重量可承重30kg；

? 潔凈度：10級(jí)的潔凈熱處理HEPA高效過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與10級(jí)潔凈度。

四．十級(jí)潔凈烤箱，無(wú)塵烤箱常用規(guī)格

注：若無(wú)滿足型號(hào)規(guī)格，可提供訂制。