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對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件

細(xì)
致

每一組數(shù)據(jù)

智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
潔凈烘箱，百級(jí)無塵烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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精密熱板，高精度烤膠機(jī)

發(fā)布時(shí)間: 2021-09-26 13:42

商品信息

精密熱板，高精度烤膠機(jī)簡(jiǎn)介：

精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場(chǎng)合等。在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位，進(jìn)行熱老化、溫度試驗(yàn)及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗(yàn)中常見。主要應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn)，用于最大直徑φ150mm晶圓或¨150mm方片的烘烤工藝，手動(dòng)上下料、自動(dòng)烘烤作業(yè)。

精密熱板，高精度烤膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

溫度加熱范圍： 50℃-200℃；

表面溫度均勻性：

50 ~ 120℃ R≤±0.5℃

121 ~ 150℃ R≤±0.75℃

151 ~ 200℃ R≤±1.0℃；

適用基片尺寸： 4、6寸晶圓及小于150mm方片；

溫度控制器：P.I.D溫度控制，高亮度4位數(shù)字LED顯示溫度；

控溫精度： 0.1℃；

配置定時(shí)器，可編程定時(shí)控制

配置真空端口，可使基片和熱板緊密接觸；

惰性氣體：可充氮?dú)饪刂?/span>