高精度加熱臺，精密熱板用途

   精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合

等。適用于半導體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。

高精度加熱臺，精密熱板技術(shù)性能

整體外形尺寸：依尺寸變化

加熱面積尺寸：160*160/220*220/500*260（mm）等，可定制

溫度分辨率 ：0.1℃           

溫度均勻性：±0.5/±1/±1%℃

電源輸入：AC220V          

加熱功率：1500W....

控溫范圍：RT-200/300/400/500/600/700℃                               

蓋內(nèi)高度：27MM，可定制

加熱面板材料：陽極鋁合金/陶瓷面板 

高精度加熱臺，精密熱板特點

結(jié)構(gòu)小巧，精度高；

升溫迅速穩(wěn)定可靠； 

透明窗便于觀察。