外延片烘箱，氮氣潔凈烘箱作用

   氮化鎵外延片工藝是一種用于制備氮化鎵外延片的工藝，主要包括表面清洗、氮化處理、清洗處理、干燥處理和檢測處理等步驟。干燥處理是將清洗后的外延片放入烘箱中，進行干燥處理，以去除清洗液中的水分。將所述外延片放入烘箱中,在120℃～140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10～30分鐘。

   氮氣是惰性氣體，不易與其他物質發(fā)生反應。在日常生產(chǎn)生活中，氮氣常作為氣源，且不與需要氣源的電器和氣動元器件產(chǎn)生氧化和腐蝕，既可杜絕細菌和噬菌體在元器件中滋生和污染，也可延長電器元器件和氣動元器件使用壽命。氮氣廣泛存在與大氣中，干燥潔凈且不含水，不含油，因此常作為干燥氣體使用。

  目前常用的外延片生產(chǎn)用氮氣干燥箱通常將送入的氣體通過過濾網(wǎng)過濾分散后送入干燥箱箱體內部，進而對需要干燥的物體進行干燥。

外延片烘箱，氮氣潔凈烘箱性能要求：

溫度范圍：RT～200/300℃；
溫度均勻度：±1.5%℃;    

溫度波動度：±0.5℃（空載）        
溫控精度：±0.1℃;        

工作尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×500

600×700×800（可定制）          

網(wǎng)板：2-4個

可擴展功能：

氧濃度檢測，無塵無氧烘箱

智能聯(lián)網(wǎng)功能，MES等工業(yè)自動化軟件

掃碼槍，掃碼溯源，一鍵讀取

自動門控，上位機程控，機械手搬運產(chǎn)品