就
是
對
待
工
作
的
態(tài)
度
，
個產(chǎn)品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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精密熱板，高精度烤膠機
發(fā)布時間: 2021-09-26 13:42
精密熱板，高精度烤膠機簡介：
精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位，進行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗中常見。主要應(yīng)用于科研實驗，用于最大直徑φ150mm晶圓或¨150mm方片的烘烤工藝，手動上下料、自動烘烤作業(yè)。
精密熱板，高精度烤膠機技術(shù)參數(shù)：
溫度加熱范圍： 50℃-200℃；
表面溫度均勻性：
50 ~ 120℃ R≤±0.5℃
121 ~ 150℃ R≤±0.75℃
151 ~ 200℃ R≤±1.0℃；
適用基片尺寸： 4、6寸晶圓及小于150mm方片 ；
溫度控制器：P.I.D溫度控制，高亮度4位數(shù)字LED顯示溫度 ；
控溫精度： 0.1℃；
配置定時器，可編程定時控制
配置真空端口，可使基片和熱板緊密接觸 ；
惰性氣體：可充氮氣控制
電源：220V,50/60Hz；；
外形尺寸：350×350×530mm。
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