不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱應(yīng)用范圍
    不銹鋼無塵烤箱應(yīng)用于目前關(guān)鍵的半導(dǎo)體電子行業(yè)（如硅片干燥，堅膜烘烤，裝片機(jī)后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，雙層無塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無機(jī)材料行業(yè)中用于材料高精度工序。也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、MEMS、智能傳感器、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱技術(shù)性能
內(nèi)腔尺寸：300*300*300；450*450*450；500*600*700；800*800*900......定制尺寸；
腔體數(shù)量：1-8個可選，每腔單獨控制；
材質(zhì)：內(nèi)箱：SUS304不銹鋼或SUS316不銹鋼，外箱材質(zhì)：冷軋板噴塑，或304不銹鋼；
操作系統(tǒng)：LED數(shù)字控制，多彩觸摸屏式控制，人機(jī)界面+PLC控制，自動化智能控制（MES）等；
無塵等級：Class 100；  
無氧功能：≤20PPM；（選配）  
輔助降溫功能：風(fēng)冷、水冷；（選配）
工業(yè)智能系統(tǒng)：MES系統(tǒng)、SECS / GEM系統(tǒng)；（選配）
掃碼槍： 作業(yè)時掃碼可實現(xiàn)自動調(diào)取所需作業(yè)程序；
溫度范圍：RT+10～200、300℃、450℃；
溫度均勻度：≤±2%℃；  
溫度波動度：±0.5℃（空載）；        
溫控精度：±0.1℃；
進(jìn)氣口：φ8mmN2進(jìn)氣；
排風(fēng)口：耐高溫不銹鋼排風(fēng)口；    
電源：380v , 50Hz三相五線制。